Սիլիկոնային կարբիդի վաֆլի նոսրացման մեքենան հիմնականում օգտագործվում է ենթաշերտի նյութերի նոսրացման համար, ինչպիսիք են սիլիցիումի վաֆլի, գալիումի արսենիդը, սիլիցիումի կարբիդային կերամիկա, ցիրկոնի կերամիկա, գրաֆիտ, լիթիումի տանտալատ և այլն:
Բարձր ճշգրտության ուղղահայաց վաֆլի հղկման մեքենաները կարող են մանրացնել երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային նյութերը, ինչպիսիք են SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO: DL-GSD շարքը ինքնաշեն հղկման մեքենա է Չինաստանում, և դրա կատարումը հասել է համաշխարհային ստանդարտի: