Վաֆլի համար հղկող անիվների կիրառում. Դիսկրետ սարքերի կոպիտ և նուրբ հղկում, ինտեգրալ շղթայի ենթաշերտի սիլիկոնային վաֆլիներ, շափյուղա էպիտաքսիալ վաֆլիներ, սիլիկոնային վաֆլիներ, GaAs, GaN, սիլիցիումի կարբիդ, լիթիումի տանտալատ և այլն: